作者：王云庆,李庆祥,周兆英 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》1998年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB802.0120 DOC编号：DOCQHXB802.0129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键。本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统，它具有亚微米级的运动精度，保证了工作台升降快速、准确，运行平稳，对触针无冲击。在台阶高度测量中，应根据被测样品材料选择适当的测量力，该文测量力的设定是通过工作台上升或下降到相应位置来完成的。实验表明：工作台上升时间仅１０ｓ左右，测量力设定误差小于６μＮ。

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