作者：赵长德,高钟毓 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》1998年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB811.0050 DOC编号：DOCQHXB811.0059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 以ＭＥＭＳ（微型机电系统）为基础的惯性仪表在汽车、计算机、导航等领域都将有广泛的应用。为了制作出低价格、小尺寸、中等精度的微型加速度计，有必要将接口电路和敏感元件集成在一个芯片上。本文介绍了一个体加工工艺的微机械敏感元件（包括一个差动电容结构）；分析了一种ＣＭＯＳ前置缓冲放大器和增量求和（Δ）原理的静电力反馈系统并且用计算机进行了仿真；同时对系统噪音进行了讨论。这个前置缓冲放大器可以达到２２ＭＨｚ的单位增益带宽和很小的运放输入电容。Δ反馈回路可以得到高精度和高线性度的数字输出。

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