作者：赵岩,冯钟潮,张炳春,梁勇 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1998年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1998040140 DOC编号：DOCCGJS1998040149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文研究了脉冲激光溅射镀膜技术沉积WO_3基片在室温下，沉积的WO_3膜部分晶化并部分还原.经热处理，在450℃左右膜层开始晶化，最后形成三斜晶系的WO_3晶化后颗粒在几十到几百纳米之间.本技术沉积的WO_3膜对NO_2气体有非常好的气敏性能，可检测0.1&#215；10~(-6)量级的NO_2气体.WO_3膜的灵敏度随温度降低而增大，但同时响应时间和恢复时间增长.同其它制备技术相比，本技术沉积的WO_3膜显著提高了响应性能：响应时间和恢复时间，它们分别为30_s和70_s。

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