《金刚石薄膜压阻效应研究现状》PDF+DOC

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2. 《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 伴随多晶硅力敏电阻在高温压力传感器和微机械传感器上的应用，学者对其压阻效应原理进行深入研究。本文论述了P型多晶硅隧道压阻模型和应变因子理论计算存在问题，提出了一种应变因子改进算法，与实验结果比较表明该算法的科学性，为多晶硅广泛应用打下一定的理论基础。...
3. 《高温压力传感器的新进展——金刚石微压力传感器》PDF+DOC 工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。本文对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度的压阻型金刚石微压力传感器 ，包括其原理、结构及其制造技术作了详......
4. 《金刚石薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC 金刚石的许多性质(例如，高硬度、高弹性模量、高屈服强度、化学惰性、低摩擦系数和高热传导)使它成为微结构器件的优异材料。现已证明金刚石薄膜有压阻效应，这个性能打开了金刚石薄膜在压力传感器领域的应用。研究了金刚石薄膜的欧姆接触、热敏特性和压阻特性。研究表明金刚石薄膜可制成适于高温工作的传感器。...
5. 《金刚石薄膜压阻效应及相关问题的研究》PDF+DOC P型金刚石薄膜具有压阻效应，是最近五六年才发现的新现象。利用压阻效应，可望将金刚石膜制成高灵敏度的新一类压阻传感器材料和压力微传感器，从而拓宽金刚石膜在电子学领域的应用范围。 对金刚石膜的压阻因子进行了测量，结果表明，P型定向生长的多晶金刚石膜室温压阻因子可达100O以上；金刚石薄膜的压阻效应比硅和......
6. 《碳纳米管膜的压阻效应》PDF+DOC 对碳纳米管(CNT)膜的压阻效应进行了研究.实验所用的碳纳米管用热灯丝气相沉积法(CVD)合成，压阻效应用3点弯曲法测量.研究发现：在室温下与500微应变时，碳纳米管膜的压阻因子至少是65，超过多晶硅(Si)在35℃时的压阻因子30.并且，碳纳米管膜的压阻因子随温度的升高而变大.还讨论了碳纳米管膜出......
7. 《半导体高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍多晶硅压力传感器，由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离，因而提高了传感器的工作温度。实验表明，该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。...
8. 《压力传感器新工艺及其动向》PDF+DOC 一、前言 硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的一种新型压力传感器。这种压阻效应早在三四十年代已被发现，但由于涉及到各种技术问题，特别是半导体工艺和集成电路工艺问题所以一直得不到发展，到了航空测试设备发展受到传感器影响时，这一问题又引起国际航空界人士的重视。此后，人们对半导体锗和硅的...
9. 《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC 运用共振隧穿双势垒(DBRT)结构中的一种压阻效应原理—介观压阻效应，用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件，设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器。并对介观压阻和普通压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了介观压阻效应原理，可以提高压力传感器的灵敏度，为制造基于介观压阻效应的......
10. 《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高加速度计灵敏度，提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计，基于这种原理设计一种四梁岛结构，通过理论分析与仿真计算，得出该结构在1gn输入下的输出，并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较，从理论上验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性，为此......