作者：凌明芳,郝永德,林洪,陈卢金 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1996年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1996020010 DOC编号：DOCYBJS1996020019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文分析了薄膜温度传感器制造的难点，提出降低内应力的方法，应用正交试验技术得出了最佳工艺条件，应用S枪磁控溅射方法和薄膜工艺制成了零电阻分别为100Ω、500Ω、1000Ω的镍薄膜电阻元件，其电阻温度系数达到德国DIN43760标准。

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