作者：葛立峰 单位：中国科学院;国家自然科学基金委员会 出版：《科学通报》1997年第22期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKXTB1997220060 DOC编号：DOCKXTB1997220069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微气隙结构(微米到纳米级)静电(或电容)超声传感器在气载超声发生和检测领域占据着愈来愈显著的位置，它们广泛应用于机器人、自动测距、无损检测、生物扫描、声成像和声显微等领域。这种传感器通常用微加工技术制作，与微电子电路整合在一起构成微机电系统(MEMS)，近10年取得很大进展。因此，搞清它的传感机制，建立可靠的先验理论模型，实现优化设计已成为当前研究的前沿和热点。近年先后提出了“亥姆赫兹(或质量弹簧)振子模型”、“张力板模型”。本文在前阶段工作的基础上，提出一个新的“空气弹簧支撑的板模型”。在这个模型中，一个静电传感器被看作空气弹簧支撑的板，换言之，它的膜片被看作是置于气垫上的一个薄板，并进一步应用它对v形槽背板传感器的行为进行建模，获得了准确的预测结果。

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