作者：宋跃,张常江,强盛,刘洋,何良辰 单位：中国自动化学会;黑龙江省自动化学会;黑龙江省科学院自动化研究所 出版：《自动化技术与应用》2016年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDHJ2016090060 DOC编号：DOCZDHJ2016090069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 双工件台是光刻机的重要部分，为了保证其曝光的准确性，提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案。详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和传感器等方面的设计。运动控制卡主要采用TI公司的TMS320C6414芯片和Altera公司的EP2S60F102014N可编程逻辑器件，并定义信号传输协议。通过实验验证，系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到要求。

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