作者：刘强,郑莹娜,陈益民,李定华 单位：辽宁省机械研究院 出版：《机械设计与制造》1998年第05期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSYZ805.0400 DOC编号：DOCJSYZ805.0409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电一体化技术是介观物理、混沌物理、量子力学等科学和计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等技术互相融合的先进科技，是２１世纪科学技术发展的前沿领域，介绍微机电一体化系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。

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