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软X射线光学研究获重大突破中科院长春光机研究所短波光学研究小组，在软X射线光学研究方面，取得多项重大科研成果。软X射线是一种比可见光短得多的电磁辐射。中科院长春光机所在软X射线光学研究方面的重大突破是多层膜技术。它衍生的新一代软X射线光刻技术，将引起微电子工业的深刻革命。软X射线光刻技术，将满足在

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