作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》1999年第07期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ1999070080 DOC编号：DOCCGSJ1999070089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS/MST的商品化 在过去的几年中，我们已经看到了在微电子机械系统(MEMS)和微系统(MST)领域中发生的巨大变化。据估计，全球MEMS/MST1998年的市场规模在60～140亿美元，到2002年预计能达到380亿美元。全世界有600多家企业、大学、研究机构目前正在从事MEMS/MST的研究，并给他们

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