《差动式电容加速度传感器》PDF+DOC
作者:栾云,唐旭晖,吴朝霞,李志全
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1997年第06期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1997060070
DOC编号:DOCCGQJ1997060079
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对差动式电容加速度传感器的工作原理和误差来源进行了分析和讨论,为设计制造此种加速度传感器提供了理论依据.
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