《压电陶瓷微驱动器用于超精定位的技术研究》PDF+DOC

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2. 《基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制》PDF+DOC 在超精密光学工程等领域，为了满足大质量部件的超精密进给定位应用需求，设计并研制了一种大载荷的纳米定位平台。该纳米微动承载台采用双闭式气浮导轨，由压电陶瓷致动器结合柔性铰链提供驱动，通过电容微位移传感器实时监测终端承载台位移并实现闭环反馈控制，有效地克服了压电陶瓷致动器的非线性影响因素，并消除了系统由......
3. 《微位移系统中压电陶瓷驱动器迟滞建模》PDF+DOC 针对超精密微位移系统中压电陶瓷驱动器的迟滞非线性问题，提出了一种基于遗传反向传播(BP)神经网络的压电陶瓷迟滞非线性建模方法。通过电涡流位移传感器获取压电陶瓷驱动器不同电压值下所对应的位移值；利用六次多项式拟合获得迟滞的数学模型，从而建立基于遗传BP神经网络的迟滞模型。实验结果显示：该迟滞模型在神经......
4. 《基于电容传感器的精密压电微位移系统研究》PDF+DOC 利用高精度的电容传感器设计了一种带有位移反馈的压电陶瓷精密微位移系统，极大地矫正了压电陶瓷的非线性。设计了高精度的位移检测电路，实时采集电容传感器的电容量并转换成数字信号反馈给DSP，形成位移信息的闭环。结合带有前馈补偿的PID闭环控制策略，矫正压电陶瓷的非线性特性，进而实现微位移系统精密定位。对设......
5. 《纳米定位机构及其控制系统的研究》PDF+DOC 在纳米科学与技术领域 ，纳米定位技术是纳米测量和原子操作工程研究及走向产业化的前提条件和工作基础。本文设计了一种新颖的以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的纳米定位机构 ，给出了其动力学模型 ，结合纳米传感器微位移检测装置和微机控制系统设计并研制了数字闭环控制的纳米定位系统。实验表明 ：该纳米定位......
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7. 《一种用于压电驱动微动工作台的测控系统》PDF+DOC 研究了压电陶瓷驱动器特有的迟滞和儒变特性，针对它的这些非线性特点，给出了一种有效消除这些非线性误差的闭环控制方案。采用高精度A/D和D/A转换芯片，设计了基于PC机并行增强口EPP协议的控制板。在自行设计高压驱动电路的基础上，研制出了用于纳米级定位的数字闭环控制器。测试结果表明，此控制器很好地克服压......
8. 《基于压电驱动的纳米级精密定位系统的研究》PDF+DOC 利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X-Y两自由度精密定位工作台，并利用有限元分析法对机构进行了优化设计，采用电阻应变片作为微位移检测传感器，在此基础上设计了闭环控制器，该控制器包括压电陶瓷驱动单元、微位移传感器检测单元和中央处理单元，最后利用PID控制法进行了闭环控制实验研究。实验结果表明，本系统......
9. 《AD7796在压电陶瓷微驱动器系统中的应用》PDF+DOC AD7796是由美国Analog Device公司推出的一种较新的低功耗、低噪声、高精度的16位模数转换器，内部集成了温度传感器，片上仪器放大器倍数为128，适合于小信号直接输入转换。本文介绍了AD7796的基本工作原理、内部结构以及软件设计，并结合压电陶瓷驱动器系统，说明了此芯片在信号采集中的使用......
10. 《压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制》PDF+DOC 针对压电陶瓷定位系统中电容传感器故障对定位精度的影响，对使用扩展卡尔曼滤波(EKF)进行容错控制的方法进行了研究。以传感器采样电路故障和掉电故障为对象，对三阶轨迹规划算法下电容传感器的EKF滤波公式进行了分析，提出以离散化迭代计算的EKF代替传统的将非线性系统线性化的方法。在压电陶瓷定位系统实验平台......