作者：刘强,郑莹娜,陈益民,司徒忠 单位：中国机械工程学会;广州机械科学研究院 出版：《机床与液压》1999年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCYY902.0040 DOC编号：DOCJCYY902.0049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微型机械电子系统是现代物理（介观物理、混沌物理、量子力学等）和高新技术（计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等）互相融合的先进科技，是２１世纪科学技术发展的前沿领域，本文介绍微型机械电子系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。

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