作者：李根乾,赵宏,宋元鹤,谭玉山 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》1999年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG1999030140 DOC编号：DOCBDTG1999030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 相移莫尔轮廓测量法是一种光学全场非接触三维测量方法，由于存在机械运动，限制了测量速度、使用寿命及测量的可靠性。采用变光源阴影莫尔测量技术，实现了无机械运动的快速测量。该测量方法可以满足 Ｂ Ｇ Ａ（ 球脚阵列） 封装引脚尺寸的实时在线检测的需要

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