作者：杨露姣,张颖,程璇 单位：中国科学院基础科学局;化学部;文献情报中心;国家自然科学基金委员会化学科学部 出版：《》 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHXJZ2016Z20120 DOC编号：DOCHXJZ2016Z20129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《聚合物先驱体转化法制备陶瓷MEMS器件》PDF+DOC2008年第11期 吕红映,陈立新,王亚洲,张教强 《用激光拉曼谱表征半导陶瓷湿度传感器中晶粒微结构的特性》PDF+DOC1997年第02期 胡绪洲,范德里尔顾锡嘉 《陶瓷传感器》PDF+DOC1990年第07期

    • 先驱体转化法制备的硅硼碳氮(Si BCN)陶瓷，具有优异的高温结构稳定性、抗氧化性、抗蠕变性及特殊的电学性能，可制备成陶瓷纤维、复合材料、多孔陶瓷、涂层及微器件等，成为航空航天、能源、微电子等产业的备选材料。近年来，研究者们致力于发展先驱体的新型合成方法，开展陶瓷微结构及高温性能的表征研究，并探索将Si BCN陶瓷的特殊性质应用于高温传感器、碳纳米管或碳纳米纤维的抗氧化涂层、碳化硅陶瓷的烧结助剂等领域。本文将对先驱体法制备Si BCN陶瓷的工艺(包括先驱体的合成、热裂解及加工成型)、Si BCN陶瓷微结构和性质，以及其高温性能等最新研究进展进行详细的综述，在此基础上总结该领域目前存在的主要问题，并提出未来的发展方向。

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