《硅压力传感器的发展》PDF+DOC
作者:方佩敏
单位:中国电子报社
出版:《电子设计技术》1997年第08期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZSJ1997080180
DOC编号:DOCDZSJ1997080189
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硅压力传感器是目前应用范围最广、生产量最大的压力传感器。它的发展使电路设计越来越简单,使用更方便,价格更便宜。在航空、航天、汽车、石油、化工、化纤、化肥、制药诸工业中,压力是重要测量,控制参数。另外,利用测量压力间接测量其它物理参数的方法也很多,例如,大型贮液罐的液位、海洋的水深、飞机的飞行高度和飞行速度、
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