《从集成电路迈向微系统》PDF+DOC
作者:王阳
单位:中国电子信息产业发展研究院;北京中电报科技发展有限公司
出版:《中国经济和信息化》1998年第18期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYHJS1998180130
DOC编号:DOCYHJS1998180139
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《微系统及其商品化》PDF+DOC2000年第03期 章维一,侯丽雅
《微电子技术新领域》PDF+DOC1999年第04期 陈克金,邵凯
《微电子机械技术的现状与发展》PDF+DOC1997年第06期 赵志诚
《MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究》PDF+DOC1997年第01期 李路明,王立鼎
《微系统技术(连载一)─—微系统技术概况》PDF+DOC1995年第04期 张光照
《微器件及其集成系统——仪器仪表发展新方向简介》PDF+DOC1993年第01期 杨国光
《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2005年第01期 余丹铭,梁利华,许杨剑
《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2004年第07期 余丹铭,梁利华,许杨剑
《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅
《MEMS微电子机械系统与流程工业自动化》PDF+DOC2009年第07期 卞正岗
目前,集成电路技术已发展到可以将微电子、微光学、微机械结合起来。形成一种新的复杂的多功能微系统。微系统被人们称为传统工业的维生素。微系统产品社会需求量不断上升,并在消费电子、通讯设备、医疗器件、自动控制、仪器仪表等方面形成了巨大的潜在市场。正是技术进步和市场需求促使VLSI从集成电路技术逐渐向微系统技术迈进。
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