《高温压力传感器温度特性的改善》PDF+DOC
作者:姚素英,毛赣如,曲宏伟,张维新,张荣
单位:四川固体电路研究所
出版:《微电子学》1997年第05期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFMINI705.0080
DOC编号:DOCMINI705.0089
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分析研究了多晶硅电阻对半导体高温压力传感器温度特性的影响,找到了改善传感器温度性能的最佳途径。研制出工作温度为250°;C、压力量程为0~1MPa、灵敏度大于40mV/mAMPa的传感器。
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