《双光束补偿扫描系统》PDF+DOC
作者:刘兴占,梁晋文,陈博一,花国粱,何树荣
单位:中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所
出版:《计测技术》1998年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHKJC1998040010
DOC编号:DOCHKJC1998040019
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提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统,扫描头由一特殊光路组成。当入射光通过此光路后,产生对称输出的两束光。当入射光发生角漂或扫描头发生摆动时,输出的两束光对称上下漂移,其中心线保持不变,故扫描形成的基准面保持不变,从而大大提高了测量精度。经实验证明,测量精度优于2.5×;10-6。
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