作者：陈克金,邵凯 单位：江苏省电子学会 出版：《信息化研究》1999年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZGS904.0190 DOC编号：DOCDZGS904.0199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子技术新领域陈克金，邵凯（南京电子器件研究所，南京，２１００１６）（一）微电子机械系统１引言微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的技术目标是把微机械和集成电路融为一体，将电子系统与外部世界联系起来。它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号，将这..。

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