作者：刘克非 单位：黑龙江省机械科学研究院;黑龙江省机械工程学会 出版：《机械工程师》1998年第S1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXGU8S1.0430 DOC编号：DOCJXGU8S1.0439 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微电子机械，从广义上讲是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路，以及接口、通讯和电源等于一体的几何尺寸不超过１ｃｍ３的微型机电一体化产品。最小体积的远期攻坚目标是微米～纳米的范畴。专家们预测微电子机械技术，将在下世纪初期相继造就一..。

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