作者：游余新,王东红,陈伟平 单位：中国航天科技集团公司第七O四研究所 出版：《遥测遥控》1999年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYCYK901.0100 DOC编号：DOCYCYK901.0109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍近年来准ＬＩＧＡ技术发展的概况，着重讨论国内外对它的各个工艺过程所采取的一些措施及其在微传感器和微执行器中的应用，并简单论述它的发展趋势。

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