作者：李立杰 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》1999年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS1999030080 DOC编号：DOCWXJS1999030089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了微机械薄膜和各向异性刻蚀的理论和特点，叙述了微机械薄膜的设计方法和试验结果。

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