作者：姚灵 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》1998年第07期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ1998070060 DOC编号：DOCCGSJ1998070069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了一种新研制成功的用于测量微小型超精成品钢球(G3-G60)表面粗糙度的测量仪器.仪器的设计采用M制轮廓针描法.由于设计中采用了特殊结构的高灵敏度触针式压电传感器和极低自振量的旋转式电动驱动机构，使仪器的“虚假信号”降至0.002～0.003μm(Ra)，仪器示值度动量达到了0.001～0.002μm(Ra)水平。

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