作者：高凯,张玉赋,沈洪涛 单位：江苏省科学技术情报研究所 出版：《江苏科技信息》1999年第09期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJXY1999090080 DOC编号：DOCKJXY1999090089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 薄膜传感器是一种新型的传感器。薄膜传感器具有如下优点：①耐振动，结构稳定，噪声小；②体积小，耗材少；③灵敏度高，精度高，响应快。相对于块状物质，由于处于薄膜形态的物质具有许多独特的性质，因而薄膜器件已成为现代科学技术领域中不可缺少的器件。薄膜传感器敏感薄膜的制备技术近年来发展很快，在传感技术中独树一帜。目前国内外敏感薄膜制备方法主要有物理方法、化学方法、生物学方法三类方法，下面就几种典

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