《光激励微型硅谐振器研究》PDF+DOC
作者:高金山,王家桢,童诗白
单位:中国电子学会
出版:《电子学报》1998年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZXU1998050130
DOC编号:DOCDZXU1998050139
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本文介绍了一种可以形成新型光纤传感器的微型硅谐振器,其基本原理是微型硅谐振器在调制光的光热作用下产生谐振,被测物理参数使谐振频率发生改变.文中给出了用单晶硅制作桥型微谐振器的方法,研究了微型谐振器在光激励下产生振动的机理.
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