作者:孙柏林 单位:北京长城航空测控技术研究所 出版:《测控技术》1999年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFIKJS1999010020 DOC编号:DOCIKJS1999010029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 当前人们在向宏观世界不断进军的同时,也在向微观世界发起冲击。人们不断地致力于微型装置的研究制造与开发利用。微米/纳米技术(micro/nanotechnology)以及在此基础上发展起来的微型机电系统(micro-electro-mechanicalsystems,MEMS)制造技术,将有可能成为21世纪信息技术、测控技术与精确制导技术的核心技术之一。同时也必将给军事领域带来深刻的变革。

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