作者：谢中生 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》1999年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS1999040050 DOC编号：DOCDGZS1999040059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍微电子机械系统的应用领域，披露其市场营销规模，展望21 世纪初叶前景

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