《提高激光光纤测量系统分辨力的方法》PDF+DOC
作者:赵勇,李鹏生,马惠萍,浦昭邦
单位:中国科学院光电技术研究所;中国光学学会
出版:《光电工程》1999年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDGC1999050060
DOC编号:DOCGDGC1999050069
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简要介绍了激光光纤测试系统的测量原理,详细描述了激光器功率自动控制回路和用于微小内表面形貌检测的补偿式光纤传感器结构的设计方法,并给出了初步的实验结论。测量微小内尺寸时的定位分辨力为0.05μm 。实验结果表明,本文所述的提高系统分辨力的方法设计合理,有较强的实用性
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