作者：庞江涛,刘理天,李志坚 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》1999年第S1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB9S1.0150 DOC编号：DOCQHXB9S1.0159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微流量泵与微流量传感器的系统集成》PDF+DOC1998年第02期 庞江涛,战长青,谭智敏,钱欣,刘理天,李志坚 《具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构》PDF+DOC1998年第03期 庞江涛,战长青,刘理天 《集成智能传感器:智能社会的五官》PDF+DOC2017年第04期 刘泽文 《新型集成压力传感器的研究》PDF+DOC1996年第06期 张维新,毛赣如,曲宏伟,姚素英,李建文 《集成pH－ISFET／压力传感器的研究》PDF+DOC1994年第03期 丁辛芳,俞海明 《硅传感器的发展趋势》PDF+DOC1987年第03期 黄金彪,童勤义 《硅加速度传感器芯片的优化设计研究》PDF+DOC2003年第05期 邓永和,李玉琮,许迈昌 《CMOS图像传感器的最新发展现状》PDF+DOC2002年第12期 何兆红,王高 《自动变形监测系统集成数据库的设计与实现》PDF+DOC2010年第01期 贵慧宏,张锦 《传感器》PDF+DOC2008年第08期

    • 介绍了一种新型硅集成微型泵系统的工作原理、结构优化、电路设计、制作工艺流程和初步的实验结果。该系统为三片式结构，其中两片由体硅微机械加工技术形成，构成微止回阀门，另一片为集成铝硅双金属驱动结构。驱动结构的结构参数得到了优化设计，提高了工作效率。利用铝硅双金属驱动结构制作工艺的特点，在驱动结构上集成制作了微流量传感器和信号处理电路，实现了系统集成。该集成系统的制作工艺简单，所采用的微机械加工工艺与标准ＭＯＳ工艺完全兼容。集成微型泵的外形尺寸为６ｍｍ&#215；６ｍｍ&#215；１ｍｍ，最大输出背压力为１０ｋＰａ，最大流量可达到４４μＬ／ｍｉｎ。

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