作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》1999年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ1999060080 DOC编号：DOCCGSJ1999060089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微型单晶硅球面晶体管研制成功 美国BALL半导体公司宣布，该公司已经成功地在一个1mm直径的硅球面上制作了一个5μm的NMOS晶体管，其电子特性与传统的晶片式换能器相当。 为了使这个技术奇迹得以出现，该公司的技术人员从多方面做了努力，除了对已有技术做相应的改进外，还创新性地开发许多新技术，如球面印刷技术、非接触式加工技术、球面单体结晶技术、三

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