《微机械加工技术发展概况(一)》PDF+DOC
作者:鲍敏杭
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1998年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS805.0000
DOC编号:DOCYBJS805.0009
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《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文
《微电子机械系统的进展与应用前景》PDF+DOC2001年第10期 王长河
《微机械薄膜的设计和制造》PDF+DOC1999年第03期 李立杰
《第六届国际固态传感器与执行器会议介绍》PDF+DOC1991年第05期 鲍敏杭
《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC2002年第04期 童志义,赵晓东
《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅
《微机械元件和仪器的新进展》PDF+DOC2000年第05期 邵培革,王立鼎
《微机械学发展概况及其在航天传感器中的应用》PDF+DOC1994年第03期 汪宝宁
《微机电系统的研究与分析》PDF+DOC2004年第01期 沈桂芬,张宏庆,韩宇,范军,付世,丁德宏,姚朋军
《浅论MEMS技术发展趋势与应用》PDF+DOC2010年第35期 张勇,张剑,熊国宏
本文总结介绍了近年来国内外微机械加工技术的新发展,并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。
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