作者：蔡旭阳,孙大雄,菊池和夫 单位：中国仪器仪表协会上海光学仪器研究所 出版：《光学仪器》1999年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXYQ1999Z10190 DOC编号：DOCGXYQ1999Z10199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种高性能的多通道光学薄膜膜厚监控系统的设计与制作，系统使用了ＣＣＤ作为线阵探测器。详细论述了光源、接收器以及光纤导光系统的设计过程。实验表明该设备可以用于高精度高速测量，也适合于监控制作多层膜滤光片。

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