作者:李新霞 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》1999年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ903.0100 DOC编号:DOCBDTQ903.0109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍了EM系列光刻机(俄产)的多发故障,如真空传感器及间隙设定单元故障及其维修方法。同时提出对设备的一些保养措施。

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