《EM系列光刻机维修技术》PDF+DOC
作者:李新霞
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》1999年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ903.0100
DOC编号:DOCBDTQ903.0109
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介绍了EM系列光刻机(俄产)的多发故障,如真空传感器及间隙设定单元故障及其维修方法。同时提出对设备的一些保养措施。
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