作者：谢峰,谢铁邦,李柱 单位：华中师范大学 出版：《华中师范大学学报(自然科学版)》1999年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHZSZ1999040120 DOC编号：DOCHZSZ1999040129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动焦点跟踪传感器，该传感器可实现表面形貌的快速、非接触测量，其测量范围为500 μm ，分辨率可达3 nm ；详细地描述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用。

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