作者:孙德明,肖梦秋,汪荣昌,戎瑞芬 单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版:《Journal of Semiconductors》1999年第03期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTX1999030040 DOC编号:DOCBDTX1999030049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触 .在常温下 ,Pt/ Ti O2 界面处的电子电导对 Pt/ Ti O2 肖特基势垒高度的变化非常敏感 .本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能 ,并讨论了因水在 Pt/ Ti O2 界面处的化学吸附 ,引起表面态费米能级改变 ,影响 Pt/Ti O2 肖特基势垒的高度 ,从而导致了 I- V曲线的变化的物理过程 ,对器件制造过程中的工艺问题也有所论述

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