作者：王胜利 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》1998年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS804.0070 DOC编号：DOCDGZS804.0079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 质量流量控制器（ＭＦＣ）是一种闭环控制器，能根据设定值对气体“量”进行精确稳定控制，而不受气体压力、温度的影响。

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