作者:刘洋,陈兴林,何良辰,宋跃,张常江 单位:中国自动化学会;黑龙江省自动化学会;黑龙江省科学院自动化研究所 出版:《自动化技术与应用》2016年第09期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZDHJ2016090040 DOC编号:DOCZDHJ2016090049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 在目前普遍应用的步进扫描投影式光刻机中,工件台技术是光刻机的核心技术之一。为了实现双工件台交换的关键步骤--转台齿轮同步调向,提出了一种基于DSP和FPGA公自转同步调向交换双工件台的控制系统设计和实现方法。基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与硬件装置,以TI公司型号为TMS320C6414的DSP为控制器,Altera公司型号为EP2S60F102014N的FPGA作为可编程逻辑器件,定义了通信协议,设计了信号采集装置,完成了基于PID的控制系统和算法的规划。在本文详细介绍了该控制系统的三相异步电机执行机构、传感器模块、信号处理模块、运动控制模块等方面的设计,最终通过实验,证明该系统可靠、稳定,能够达到预定的换台指标。

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