作者：孙德明,肖梦秋,汪荣昌,戎瑞芬 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》1998年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ805.0060 DOC编号：DOCBDTJ805.0069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • Ｐｔ常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下，Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的电子电导对Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能，并讨论了因水在Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的化学吸附，引起表面Ｆｅｒｍｉ能级改变，影响Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒的高度，从而导致了Ｉ－Ｖ曲线变化的物理过程，对器件制造过程中的工艺问题也有所论述。

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